東莞無塵車間對塵埃粒子進(jìn)行試驗

空氣中顆粒物污染是許多行業(yè)生產(chǎn)及加工工藝中主要的污染來源，準(zhǔn)確評價東莞無塵車間空氣凈化已經(jīng)成為許多行業(yè)生產(chǎn)以及產(chǎn)品檢測的要求。好比在電子行業(yè)及芯片制造工業(yè)中，氣體中微小顆粒物的沉積就會造成電氣不良特性甚至更大的破壞。特別是近年來芯片線寬已經(jīng)達(dá)到微米和亞微米級，這就對東莞無塵車間的空氣凈化提出了更高的要求。另外，在現(xiàn)代醫(yī)學(xué)與藥物及生物工程中，包括中國在內(nèi)的世界各國制定實施的“藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范GMP”中也著重對藥品生產(chǎn)過程中空氣中的顆粒物潔凈度提出了要求。特別是隨著《國家中長期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要》的貫徹執(zhí)行，作為16個重大發(fā)展專項的核心電子器件、高端通用芯片、重大新藥創(chuàng)制將會得到快速發(fā)展，這就使得顆粒計數(shù)測量和監(jiān)測變得更加迫切。

　　據(jù)估計，中國現(xiàn)有的塵埃粒子計數(shù)器生產(chǎn)廠家有10余家東莞無塵車間，國內(nèi)使用的臺件數(shù)量應(yīng)不少于3萬臺，這些廠家及用戶具有很強烈的校準(zhǔn)檢測需求。要保證空氣中塵埃顆粒測量的準(zhǔn)確性，首先需要確保塵埃粒子計數(shù)器本身的準(zhǔn)確和可溯源。中國計量院完成的這項研究，建立了標(biāo)準(zhǔn)粒子計數(shù)器校準(zhǔn)裝置，實現(xiàn)了對標(biāo)準(zhǔn)粒子計數(shù)器的粒子計數(shù)示值誤差、粒徑檔設(shè)定相對誤差、粒徑測量分辨力校準(zhǔn)項目的檢定和校準(zhǔn)，不確定度為6.0%(k=2)，優(yōu)于國外相同計量校準(zhǔn)裝置的技術(shù)水平。同時，他們還建立了工作級粒子計數(shù)器校準(zhǔn)裝置，實現(xiàn)對工作級(實驗室用、便攜式)粒子計數(shù)器粒子計數(shù)示值誤差的有效校準(zhǔn)。

　　在研究中，我們通過采用國際先進(jìn)的‘激光粒子計數(shù)器——凝結(jié)核粒子計數(shù)器——氣溶膠靜電計(或掃描電子顯微鏡)’逐級溯源法，使標(biāo)準(zhǔn)粒子計數(shù)器的粒子計數(shù)值溯源至國家電流標(biāo)準(zhǔn)和傳統(tǒng)的顯微計數(shù)法，保證了粒子計數(shù)的溯源性和準(zhǔn)確性。